Ti-Al-N沉积态薄膜的制备

摘要

本文以06Cr18Ni9不锈钢作为基体材料，采用多弧离子镀进行 Ti-Al-N沉积态薄膜的制备，并研究了多弧离子镀对 Ti-Al-N沉积态薄膜表面形貌的影响。研究表明：当氮气通量为40sccm时，Ti-Al-N薄膜膜层表面的大颗粒消失，凹坑变得浅而平整均匀，但当氮气通量超过40sccm时，表面大颗粒反而变多而且分布不均匀，沉积的膜层表面相对较粗糙。