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高召帅; 于跃; 谢世鹏; 厉忠海; 王培;
江苏鑫华半导体材料科技有限公司;
保利协鑫旗下;
江苏徐州221004;
电子级多晶硅; 金属杂质; 来源;
机译:光伏级铸锭多晶硅中的过渡金属:评估杂质在氮化硅坩埚内衬材料中的作用
机译:用单能正电子束探测HfSiON基金属氧化物半导体的栅电极中的多晶硅中的空位杂质络合物
机译:常规,脉冲和高场电子顺磁共振研究生物和合成来源的磷酸钙中的金属杂质
机译:电子束注入去除冶金级硅中的过渡金属杂质
机译:多晶硅太阳能电池中的过渡金属:了解金属污染的性质,来源和影响,以最大程度地减少对太阳能电池性能的影响。
机译:TiSi纳米线中的金属传导和大的电子-声子-杂质干扰效应
机译:多晶硅材料中金属杂质的化学性质和分布
机译:多晶硅中结构缺陷与金属杂质的相互作用
机译:用于制造具有在不掺杂的硅膜和高熔点金属膜之间布置的杂质层的半导体器件的方法,以减少所述高熔点金属膜和多晶硅膜之间的固态反应
机译:将硅锻造成电子级多晶硅或冶金级硅的方法
机译:将硅屑回收为电子级多晶硅或冶金级硅的方法
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