华工紫外激光晶圆切割机获首批国家自主创新产品认定

摘要

近日，华工激光自主研发的紫外激光晶圆切割机获首批国家自主创新产品认定。长期以来．我国在激光精密加工领域依赖进口，相关核心技术的研发进展缓慢。作为半导体芯片生产中的一个重要环节，晶圆切割划片技术不仅是芯片封装的核心关键工序之一，也是从圆片级的加工过渡为芯片级加工的地标性工序。紫外激光晶圆切割机的诞生．不仅解决了困扰晶圆切割划片的难题，也使得集图像自动识别、高精度自动对位、自动切割为一体的晶圆切割划片机成为可能。