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IBM以标准CMOS工艺打造三五族FinFET

             

摘要

整体半导体产业正在尝试找到一种方法,不需要从硅基板转换而利用砷化铟镓(InGaAs)的更高电子迁移率,包括英特尔(Intel)与三星(Samsung);而IBM已经展示了如何利用标准CMOS工艺技术来达成以上目标。

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