应变工程技术提高半导体MOSFET集成度专利技术综述

摘要

应变工程技术被认为是将摩尔定律延伸的关键技术之一,目前该领域的发展主要从器件的材料、结构、工艺三个方面进行解决,其中,以工艺改进的发展最为迅猛。本文从专利技术方面分析应变工程技术提高半导体MOSFET集成度的发展趋势。