基于复反射系数法的介质结构功能厚度测量技术研究

摘要

控制介质结构功能件的电厚度是保证其电性能的重要技术手段。文中分析了复反射系数的测试原理及其与电厚度的关系,并据此研究设计了一套基于复反射系数法的单探头反射法电厚度测试系统。经过对介质平板的复反射系数测试结果分析及验证,该系统能够对介质结构功能件的电厚度分布进行检测。