蓝宝石衬底精密研磨加工实验研究

摘要

cqvip:为了实现对蓝宝石晶体的高效低损伤研磨加工,对蓝宝石晶体的精密研磨加工表面粗糙度、去除率进行试验研究。采用不同粒度碳化硼磨粒双面研磨晶体,考察了研磨盘转速、加载下压力和研磨颗粒粒径对研磨加工表面质量的去除率和表面粗糙度参数的影响。实验结果表明:研磨压力和研磨盘转速是影响去除率的最大因素;在相同条件下,磨料的颗粒粒径对去除率和表面粗糙度起到关键性的作用。