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Precision abrasive machining of work piece surfaces

机译:工件表面的精密研磨加工

摘要

The spacing between an abrasive type surface polishing tool and the surface of the work piece that is being polished is controlled dynamically so that variations in the area of the abrasive pad in contact with the surface of the work piece compensated, thereby eliminating size variations in this contact area and the accompanying variations in material removal that produce surface height fluctuations.
机译:动态地控制研磨型表面抛光工具与被抛光工件表面之间的间距,以便补偿与工件表面接触的磨垫面积的变化,从而消除尺寸变化接触面积以及随之而来的材料去除变化会产生表面高度波动。

著录项

  • 公开/公告号US7831327B2

    专利类型

  • 公开/公告日2010-11-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MARK ANDREW STOCKER;

    申请/专利号US20070998691

  • 发明设计人 MARK ANDREW STOCKER;

    申请日2007-11-30

  • 分类号G06F19/00;H01L21/461;B24B49/00;B24B5/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 18:48:39

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