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田耕耘; 杨海洋;
中机试验装备股份有限公司;
吉林 长春 130012;
宝马(中国)服务有限公司;
辽宁 沈阳 110027;
微型压力传感器; 有限元分析; 弹性模量; 薄膜厚度;
机译:利用振动双钳位的纳米/纳米同时测定超薄膜的残余应力,弹性模量,密度和厚度
机译:在施加轴向力的情况下,利用微/纳谐振器同时测定超薄膜的弹性模量和密度/厚度
机译:晶圆上低k超薄聚四氟乙烯薄膜的弹性模量和硬度的厚度依赖性
机译:用于高压微型光学压力传感器的微型光学压力传感器,用于高压
机译:基于聚合物的微型法布里 - 珀罗压力传感器,具有温度补偿:建模,制造和实验研究
机译:聚合物薄膜的温度和厚度依赖性弹性模量
机译:利用振动双夹持微/纳米束同时测定超薄膜的残余应力,弹性模量,密度和厚度
机译:微型薄膜厚度,热容和导热系数的测定
机译:薄膜太阳能电池具有设置在玻璃基板和半导体层之间的具有预定的热膨胀系数,弹性模量和厚度的阻挡层。
机译:双截面薄膜样品的弹性模量的测量方法,双截面薄膜样品的热膨胀模量的测量,弹性模量和薄膜的热膨胀模量的测量方法,热膨胀模量和用于测量的仪器
机译:光学记录介质,相同厚度的薄膜厚度测量方法,薄膜厚度控制方法,制造方法,薄膜厚度测量装置和薄膜厚度控制器
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