公开/公告号DE102012203264A1
专利类型
公开/公告日2013-09-05
原文格式PDF
申请/专利权人 INSTITUT FUER PHOTONISCHE TECHNOLOGIEN JENA E. V.(IPHT);LAYERTEC OPTISCHE BESCHICHTUNGEN GMBH;SCHOTT AG;
申请/专利号DE201210203264
发明设计人 BENSBERG ANDREAS DR.;FOTHERINGHAM ULRICH DR.;RUDIGIER-VOIGT EVELINE DR.;HENN CHRISTIAN;BACHMANN TORSTEN;HEYER MARTIN;HOCHREIN OLIVER;ANDRAE GUDRUN DR.;
申请日2012-03-01
分类号H01L31/0392;H01L31/18;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 16:21:48