硅片线锯废料中固体粉末的氧化性能研究

摘要

采用SEM及激光粒度分析仪对线锯废料中的固体粉末进行形貌及粒度分析,利用XRD测试对固体粉末进行物相分析,并表征废料固体成分在切割过程中的氧化情况.研究表明:去除硅片线锯废料中的聚乙二醇(PEG)后,可得到分散的固体粉末,平均粒度约为3.7滋m;在硅片切割过程中产生的固体粉末并没有明显的氧化现象,在80益下的水中放置7天后没有检测到明显的氧化物存在.