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平面3-DOF电磁微动台设计及其解耦控制

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摘要

针对精密运动应用领域,设计和制作了一种新型的平面三自由度电磁微动台,对此建立了动力学和控制模型.通过电磁力的分配实现控制系统的解耦,对解耦后的单入单出系统设计了双环PD控制器,并进行位置伺服控制实验,验证了解耦策略和控制算法的有效性.

著录项

来源
《科学技术与工程》 |2008年第6期|1427-14311436|共6页
作者
李恒; 朱煜; 胡金春; 张鸣; 尹文生; 杨开明;
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作者单位

清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学,计算机科学与技术系,北京,100084;

清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;

清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类控制机件;
关键词
平面三自由度; 电磁微动台; 模型简化; 解耦控制; 微分先行;

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