悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的相位检测装置研究

摘要

文章设计了一种基于悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的相位检测装置,对微机械微波功率传感器的工作原理以及相位检测器结构方案进行了初步分析,可解决传统设计方案下想问检测器存在的集成度低、空间占用量大以及直流损耗量大等诸多问题,有进一步推广应用的价值.