悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的相位检测装置及方法

摘要

基于悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的微波相位检测装置及方法，该装置包括悬臂梁电容式微机械微波功率传感器（15）可调数字式移相器（8）、功率合成器（12）、电容-数字转换器（18）；在悬臂梁电容式微机械微波功率传感器（15）中，电容-数字转换器的测试端口一（16）、电容-数字转换器的测试端口二（17）分别接电容-数字转换器（18），悬臂梁电容式微机械微波功率传感器的输入端口（14）接功率合成器的输出端口（13）；在功率合成器（12）中，功率合成器的输入端口一（10）接参考微波信号V