电容式微波功率传感器

摘要

本产品利用共面波导上传输的微波功率对MEMS悬臂梁的吸引导致梁的位移，通过测量悬臂梁与传感电极之间电容变化的方式测得共面波导上传输的微波功率，属于微电子器件技术领域。