变包含角平面光栅单色器及其关键技术

摘要

分析设计并研制了上海光源软X射线谱学显微光束线站的变包含角平面光栅单色器,经过精密加工调试,保证了扫描系统的转角重复精度;采用多孔腔内部通道水冷方法,控制了镜子表面热变形;完成真空箱体大尺寸方法兰加工与密封,达到了单色器工作所需的超高真空.通过上述关键部件的精确掌控,确保了单色器主要性能——光子能量范围、能量分辨率和能量重复性,均优于设计指标.