变包含角平面光栅单色器扫描转角精度的检测

摘要

针对上海光源(SSRF)软X射线谱学显微光束线站高分辨变包含角单色器(VAPGM)在超高真空环境下对波长扫描机构转角精度的现场测试,提出了一种实用、有效的检测方法.采用自制的多角棱镜,结合高精度光电自准直仪进行现场测试.首先,介绍了单色器波长扫描原理,给出角度与波长的关系;接着,理论分析了转角精度与系统分辨率之间的关系;最后,介绍了该方法的检测原理、装置及检测步骤.利用该方法完成了VAPGM平面镜(PM)和平面光栅(PG)转角精度的检测, 结果分别为0.19″,0.22″,满足单色器技术指标要求.在电离室在线检测了标定后的单色器系统的分辨率,测试结果好于10 000,进一步验证了该检测方法的有效性.