掠入射多包含角平面光栅单色器实现波长扫描的方法

摘要

本发明公开了一种掠入射多包含角平面光栅单色器，包括入射狭缝、第一聚焦镜、多角度反射镜、平面光栅、第二聚焦镜、出射狭缝以及升降机构；其中：入射狭缝用于使光源的光进入单色器；第一聚焦镜用于将入射的光束聚焦为平行光束；多角度反射镜用于将平行光束反射至平面光栅；平面光栅用于将多角度反射镜反射的光束分光，并将色散光束传达至第二聚焦镜；第二聚焦镜用于将色散光束聚焦到出射狭缝输出；升降机构用于控制多角度反射镜的升降。本发明结构简单、设计合理、操作方便、覆盖能段宽，其可在同步辐射装置或其他软X射线光谱分析中以较高分辨率方式工作，因此，本发明具有很高的实用价值和推广价值。