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矿用压力传感器敏感元件温度漂移补偿技术

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摘要

压力传感器敏感元件温度漂移是矿用压力传感器漂移的主要原因,文章列举了几种多晶硅压力传感器的温度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点,指出了更适合矿用压力传感器敏感元件的温度补偿方法.

著录项

来源
《煤矿安全》|2008年第3期|66-68|共3页
作者
王秋蓉;
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作者单位

辽宁石油化工大学,辽宁,抚顺,113001;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类电工器件、仪表、设备;
关键词
压力传感器; 敏感元件; 温度补偿;
入库时间 2022-08-17 17:26:56

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