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Observation of Multi-layer Film on Si Substrate

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ＯｂｓｅｒｖａｔｉｏｎｏｆＭｕｌｔｉ－ｌａｙｅｒＦｉｌｍｏｎＳｉＳｕｂｓｔｒａｔｅＬｉｕＡｎｓｈｅｎｇ；ＡｎＳｈｅｎｇ；ＳｈａｏＢｅｉｌｉｎｇ；ＷａｎｇＪｉｎｇ；ＳｈｅｎＨｕｉｚｈｕ（刘安生）（安生）（邵贝羚）（王敬）（沈惠珠）（ＧｅｎｅｒａｌＲｅｓ...

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来源
《稀有金属：英文版》 |1996年第4期|282-287|共6页
作者
刘安生; 安生; 邵贝羚; 王敬; 沈惠珠; 付军; 栾洪发; 钱佩信;
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作者单位

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.12;
关键词
Microstructure; Multi-layer; film; Cross-sectional; TEM; SEM;

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