COF Film光阻涂覆工序、COF Film生产方法及涂布结构

摘要

本发明公开了一种COF Film光阻涂覆工序、COF Film生产方法及涂布结构，属于COF Film生产领域，该光阻涂覆工序采用狭缝式挤压将光阻涂覆在由滚筒带动移动的Cu Film带的涂覆面上，该涂覆面为与滚筒相接触的Cu Film带的接触面的相对面。本发明的COF Film生产用狭缝式挤压光阻涂布结构有效避免光阻厚度周期性波动的状况，从而减少对后续显影工序和刻蚀工序的影响，不但降低了线粗线细导致的报废率，还杜绝了断胶，以及提高了涂布精度，减少了光阻消耗。