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CoSi_2薄膜内应力的微观机制研究

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摘要

通过晶体价键理论与电子密度理论的结合,推算出CoSi_2的表面电子密度,从理论上分析了p型Si衬底的掺杂浓度对CoSi_2薄膜内应力的影响,并从实验上给予了验证.

著录项

来源
《自然科学进展：国家重点实验室通讯》|2001年第2期|163-167|共5页
作者
刘继峰; 冯嘉猷; 朱静;
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作者单位

清华大学材料科学与工程系;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜中的力学效应;薄膜技术;
关键词
CoSi2薄膜; 内应力; 电子密度; 价键理论; 薄膜材料; 微观机制;

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