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CoSi2薄膜内应力的微观机制研究

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通过晶体价键理论与电子密度理论的结合,推算出CoSi2的表面电子密度,从理论上分析了p型Si衬底的掺杂浓度对CoSi2薄膜内应力的影响,并从实验上给予了验证.

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来源
《自然科学进展》 |2001年第2期|168-172|共5页
作者
刘继峰; 冯嘉猷; 朱静;
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作者单位

清华大学材料科学与工程系,;

清华大学材料科学与工程系,;

清华大学材料科学与工程系,;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜技术;
关键词
CoSi2薄膜内应力电子密度价键理论;

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