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光电印制电路板的发展评述(3)——聚合物光波导层的成型工艺(1)

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文章简述了光电印制电路板中聚合物光波导层的制作应该遵循的原则,介绍了光波导层的主要成型工艺,包括反应离子蚀刻、平版影印、激光烧蚀和加热模压等方法.

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来源
《印制电路信息》 |2007年第2期|17-20|共4页
作者
张家亮;
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作者单位

南美覆铜板厂有限公司,广东,佛山,528231;

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正文语种 chi
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词
光电印制电路板; 反应离子蚀刻; 平版影印; 激光烧蚀; 加热模压; 成型工艺;

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