感光阻焊曝光渗油影响因素研究

摘要

感光阻焊曝光渗油主要指油墨曝光过程中阻焊窗尺寸发生明显变化造成阻焊窗尺寸无法满足客户尺寸公差要求的现象,影响曝光渗油的因素不外乎生产过程制程参数和菲林阻焊窗补偿大小两个方面.本文主要通过设计不同尺寸大小的阻焊窗,在湿膜厚度、曝光能量、油墨类型、抽真空延时、强弱显影条件和不同平整度的曝光底盘等六种过程参数组合下,通过测量各类尺寸阻焊窗尺寸[1],研究各个因素对曝光渗油的影响情况,从而找出制程关键制程点加以严控并消除曝光渗油的产生.另外,通过阻焊窗实际测试的数据可得到各类油墨不同尺寸阻焊窗的补偿规则,用于指导感光阻焊工程资料制作.