激光微加工变焦系统的控制算法研究

摘要

提出了一种应用于激光微加工的变焦系统控制的算法.综合利用插补算法和变焦方程,使变焦系统中各运动镜头组获得相应的线性或非线性精确位移.并且控制运动镜头组以合理和稳定的速度移动.保证了通过掩模板的准分子激光光斑的连续和稳定的变化.变焦系统可以不更换掩模板而刻蚀出大小连续变化,形状相似的复杂结构.提高了准分子激光微加工的复杂度和分辨率.