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张正模;
无;
磁控管; 射频放电; 等离子体发生; 大直径;
机译:大电流脉冲磁控管放电中等离子体不均匀性的光学研究
机译:圆柱磁控管放电轴向和径向非均匀等离子体的二维非局部模型-艺术没有。 016401
机译:通过改进的远距离接触对活性物种进行灭菌使用一大气压均匀辉光放电等离子体的反应堆(RER)(OAUGDP)
机译:直流磁控管等离子体中的无功放电特性。
机译:非自持大气放电中通过V–I特性调制增强的高成本效益大型均匀层流等离子体射流阵列
机译:使用大的V型槽阴极放电产生等离子体
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机译:通过磁控管产生等离子体,包括向磁控管提供脉冲形式的电能,改变维持磁控管放电的电场强度,以及改变穿过磁控管的磁场强度。
机译:等离子体反应器,由于添加了气体,具有改善的等离子体均匀性,减小的腔室直径和减小的RF晶片基座直径
机译:等离子体反应器,通过添加气体增强等离子体均匀性,减小腔室直径,减小RF晶片基座直径
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