飞秒激光在三维微细体系中的应用

摘要

飞秒激光的超快特性使其能以极低的脉冲能量获 得超强光场，并且激光辐照区淀积的能量难以通过热扩散途径逸出辐照区域，其与透明物质 相互作用是通过双光子或多光子吸收过程实现，故作用区限域于焦点核心很小体积内，因而 在三维微制备及生物医学领域有着独到优势.文章介绍了飞秒激光应用于微爆炸、高密度三 维光学数据存储、直写光波导及三维光子晶体制备、生物医学工程等方面的最新进展.飞秒 激光三维微制备技术在微电子、计算机、光通信、生物医学等高技术领域有着广阔的应用前 景.