测定微束微区X射线探针分析仪焦平面的实验研究

摘要

微束微区X射线探针分析仪借助会聚X光透镜把X射线聚焦.针对仪器调试过程中需确定出口焦平面位置的难题.采用拟合曲线荧光分析方法方便快速地确定出口焦平面的位置.方法是用直径小于X焦斑直径的金属丝在不同测量平面上进行微动测量,因X光强度沿径向呈高斯分布,所以金属丝中元素荧光强度随位移也呈高斯分布.通过计算得出不同测量平面上同种元素的荧光强度半高宽,再拟合出平面位置与半高宽的曲线函数.从函数式中计算得到最小半高宽对应的平面位置值,从而确定出焦平面位置.