手のひらに載るほど超小型な電子線プローブX線マイクロアナライザー

摘要

電子線プローブX線マイクロアナライザー（EPMA）というのは，数～数十kVの加速電圧で電子を試料に照射し，励起された特性X線を測定して微小部の化学組成を分析・イメージングする装置である。入射電子が試料中で散乱してマイクロメートルにまで広がるので，電子ビームをナノメートルまで絞っても，一般的にはX線の発生面積はマイクロメートル以下には小さくならない。