Shift Endpoint Trace Selection Algorithm and Wavelet Analysis to Detect the Endpoint Using Optical Emission Spectroscopy

著录项

• 来源
  《光子传感器：英文版》 |2016年第2期|P.158-168|共11页
• 作者

  Sihem BEN ZAKOUR1; Hassen TALEB2;

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• 作者单位

  [1]Higher Institute of Management Tunis, University of Tunis, Tunisia;

  [2]Higher institute of Business and Accounting Bizerte, University of Carthage, Tunisia;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 CHI
• 中图分类 语音识别与设备;
• 关键词

  光学传感器; 端点检测; 发射光谱法; 小波分析; 选择算法; 等离子体蚀刻; 蚀刻工艺; 灵敏度分析;

  机译：光学传感器;端点检测;发射光谱法;小波分析;选择算法;等离子体蚀刻;蚀刻工艺;灵敏度分析;