硅基硫化锌薄膜的溅射法生长技术

摘要

利用射频磁控溅射法在 Si衬底上制备 Zn S薄膜 ,用 X射线衍射技术对薄膜的结构相变进行研究 ,揭示了 Si衬底上 Zn S薄膜的微观结构和相变特征与溅射功率的关系 。