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用亚像素技术实现集成块引脚位置偏差的测量

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对引脚边缘轮廓进行提取 ,采用亚像素细分的方法 ,使引脚边缘测量精度达到亚像素级 ,并利用三次样条插值拟合出引脚边缘灰度的分布函数 ,实现了引脚边缘位置的精确定位。实验证明 ,该方法能够达到集成引脚位置偏差

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来源
《光电子．激光》 |2002年第9期|949-952|共4页
作者
乔辉; 杨勇; 方志良; 刘福来;
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作者单位

南开大学现代光学研究所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类测试和检验;光检测技术;
关键词
集成块引脚; 亚像素; 三次样条; 边缘检测; 引脚位置;

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