利用光学多道仪（OMA）实时在线测量微小物体尺寸的研究

摘要

本文介绍了一种利用光学多道仪测量微小物体尺寸的方法。从物体的散射光分布推算被测物体尺寸，并给出实测结果。研究表明应用此方法在研究和生产过程中对微小物体进行在线测量是可行的。