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翟雷应; 徐静; 吴亚明; 刘闯; 雷洪波; 陶大勇;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室;
传感技术联合国家重点实验室;
上海200050;
中国科学院研究生院;
北京100039;
中石油吉林石化分公司化肥厂;
吉林132021;
中石油吉林石化分公司炼油厂;
吉林132022;
光纤相位调制器; MEMS; 垂直梳齿; 微镜; 光纤传感器;
机译:基于光纤激光器锁模的20 GHz全光时钟恢复,光纤非线性环形镜作为可变强度/相位调制器
机译:由基于SOI-MEMS技术的静电梳齿驱动器驱动的微凸轮系统
机译:具有静电和压电驱动器的MEMS-MicroMirror和微镜包装的新设计
机译:带有新型静电角垂直梳状驱动器的MEMS扫描微镜。
机译:利用排斥静电力提高MEMS微镜行程水平的方法
机译:基于静电致动微镜系统的新型活性Q开关光纤激光器
机译:用于高填充因子,敏捷光学相位阵列的静电驱动的大孔径微镜致动器组件。
机译:例如在光敏器件中使用的基于裸眼的衍射光调制器。光学存储器,具有上微镜,该上微镜在中心包括开孔,因此它根据上微镜和下微镜之间的高度差反射/衍射入射光
机译:基于共焦显微镜的基于电光调制器的空间相位调制器
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