MEMS; micro-mirror; vacuum packaging; laser scanning;
机译:垂直静电梳状驱动器的V形光束悬挂的共振扫描微镜的设计与制造
机译:垂直静电梳状驱动器的V型光束悬挂的共振扫描微镜的设计与制造
机译:用于扫描微镜的垂直静电梳状驱动器的建模
机译:带有静电和压电驱动的MEMS微镜和微镜封装的新设计
机译:具有静电驱动和压电传感器的两轴MEMS陀螺仪
机译:具有生物医学应用的旋转静电梳状驱动器的新型MEMS微型夹具的设计
机译:设计因素和环境对MEMS微镜静电放电灵敏度的影响
机译:静电驱动双晶片微镜的分段控制。