激光技术在测量薄膜光学参数中的应用

摘要

＜正＞ 由于薄膜技术广泛地应用于激光技术、微电子学、近代光学、物理学、化学、生物学等多种学科领域,因此,薄膜光学参数的测量日益变得重要,是检验、控制、研究薄膜必不可少的环节。自激光技术进入薄膜测量领域以来,使其面目为之一新,测量精度