常压化学气相沉积法制备SiO2涂层及其抗结焦性能

摘要

以正硅酸乙酯为硅源物质、空气为载气和稀释气,采用常压化学气相沉积法在HP40钢表面制备了SiO2涂层;采用扫描电子显微镜和能量色散能谱表征了SiO2涂层的组织结构和表面形貌;考察了在乙烯裂解的工艺条件下SiO2涂层的结焦抑制能力.实验结果表明,所制备的SiO2涂层具有表面平整、均匀致密的特点,粒径均在1 μm以下,且与基体具有一定的结合强度;在乙烯裂解的工艺条件下,SiO2涂层具有良好的抑制结焦能力,当裂解温度为830 ℃、水蒸气与石脑油的质量比为0.67时,SiO2涂层的结焦抑制率为75%左右,大大提高了HP40钢的抗结焦能力.