位相测量轮廓术中相移误差和最佳相移次数的研究

摘要

位相测量轮廓术是三维面形测量的一种重要方法，它采用的离散相移技术要求精确的相移，在实际系统中不可避免地存在着相移误差，它将导致计算位相和重建面形的误差，本文利用已建立的三维面形仿真系统，定量研究了不同线性相移误差下所引起的位相误差和面形误差大小，本文还讨论了应如何选取最佳的相移次数，本文的工作可为实际测量的校准提供理论数据，对实际测量工作具有指导意义。