二元光栅照明对光刻系统成象特性的影响

摘要

针对光刻系统分辨力和焦深的矛盾,详细研究了二元光栅照明对硅片上光强以及对光刻系统传输频率的影响.结果表明, 二元光栅照明可显著提高光强的对比度,改善成象系统的频率传递函数,是一种比较理想的离轴照明技术.