掺Er3+:Al2O3平面光波导的溶胶-凝胶制备

摘要

掺铒光波导主要用来制作光波导放大器.采用溶胶-凝胶法制备了透明、稳定的掺铒的铝硅酸盐玻璃溶胶;使用浸渍提拉法或旋转涂敷法,并通过放在乙醇蒸汽中干燥,可在玻璃表面得到均匀的凝胶膜;最后样品在一定温度下烧结;通过多次重复涂敷-烧结这一工艺流程可以形成厚的硅酸盐玻璃膜层并得到波导结构.使用显微镜研究了凝胶膜表面性质,通过棱镜耦合法测量了波导的有效折射率Nm ,也测定了所制备波导的吸收光谱.溶胶-凝胶法在制作均匀性好、高掺铒浓度的铝硅酸盐玻璃光波导上具有优势.