极坐标激光直写径向漂移理论研究

摘要

为了进一步提高光学元件的线条制作精度,建立了极坐标激光直写时线条中心径向漂移的补偿模型.首先推导了极坐标激光直写的曝光量分布模型,分析了径向漂移产生的原因,然后针对数值孔径为0.5 的光刻物镜建立了线条展宽模型和径向漂移模型,并分析了线条展宽和径向漂移的耦合关系,在此基础上分别建立了线条展宽补偿模型和径向漂移补偿模型.仿真结果表明,补偿前的径向漂移量是线条展宽量的3 倍,对径向漂移进行补偿可以很好地减小系统原理误差,提高极坐标激光直写的制作精度.