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王家畴; 荣伟彬; 李昕欣; 孙立宁; 马立;
中国科学院,上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点联合实验室,上海,200050;
哈尔滨工业大学,机器人技术与系统国家重点实验室,黑龙江,哈尔滨,150001;
上海大学,机电工程与自动化学院,上海,200072;
体硅工艺; 纳米级定位平台; 静电驱动 ; 致动机理; 特性分析 ;
机译:迈向基于硅的光子电路:在绝缘体上硅平台上集成光子晶体
机译:基于绝缘体上硅平台的高效紧凑型TE-TM偏振转换器,制造工艺简单
机译:基于绝缘体上硅的互补金属氧化物半导体集成光电平台,用于生物医学应用
机译:用于集成波长选择性组件的硅式绝缘体平台
机译:在绝缘体上硅集成平台上使用纳米机电系统设计光子相控阵开关。
机译:集成式硅量子比特平台具有单轴寻址能力交换控制和单脉冲单重态-三重态读数
机译:高Q硅氮化物微生物将高Q硅氮化物微度集成到绝缘体平台中的垂直集成
机译:硅上钙钛矿铁电体的异质外延:通向硅集成铁电体的途径
机译:基于多面体硅倍半氧烷的印染材料和基于多面体硅倍半氧烷的印染工艺
机译:基于砷化镓的光电器件与基于硅的集成电路的晶圆级集成工艺
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