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微光刻

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cqvip:2001040102纳米光刻技术[中]/罗先刚…//物理.-2000,29(6).-358—363,3502001040103用于高分辨大视场微光刻的全息照相技术研究[中]/冯伯儒…//微细加工技术.-2001,(1).

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来源
《光机电信息》 |2001年第4期|59-61|共3页
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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类光学仪器;
关键词
微光刻; 纳米光刻; 全息照相; 微细加工; 极紫外光刻; 光学系统;

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