微细切削加工

摘要

微系统必须是由不同材料加工而成的微米级的结构。切削加工方法(如磨削、铣或钻)与蚀刻工艺相比,有更大的灵活性,适用于小批量生产,加工的速度快,可加工的形状多样化。