远紫外膜层的抗光损伤研究

摘要

1.概述由于准分子激光器的各种优良输出特性,使得它非常适合于各种精密材料处理和生物医学等设备的应用。但是,直到目前为止,由于光对光束传输系统器件,尤其是对膜层的损伤,使系统的可靠性受到限制。光学器件制造商们已经在致力于解决这个问题,并使常用膜层的使用寿命提高一个数量级以上。新的研究方案能使抗光损伤的能力得到进一步的提高。在准分子激光器应用领域中,增长最快的是光致折射率改变角膜剥离手术(PRK)和光刻技术。在PRK技术中,它是利用激光烧蚀剥离角膜眼外科手术去矫正近视。为了确保手术成功。