离子束—电子束—原子束结合沉积技术制成膜的形貌特征

摘要

简要介绍离子束-电子束-原子束结合沉积技术的原理及特点,并对该技术制备的各种合金、陶瓷以及复合膜的形貌特征进行了分析研究。