退火温度对LaNiO3薄膜组织结构及电阻率的影响

摘要

采用射频磁控溅射法在Si(111)上制备出LaNiO3薄膜,并通过XRD、SEM等进行表征.结果表明,LaNiO3薄膜在未退火状态下出现一定的择优取向,在空气中随着退火温度的增加,结晶性更好,出现钙钛矿型结构;900℃退火时出现杂相,LaNiO3发生分解导致薄膜表面形貌发生巨大变化.电阻率与结构中的氧空位有密切联系,退火温度增加,氧空位减少,电阻率减小.在700℃退火时可以得到1.59 Ω·cm的最小电阻率.