热处理对LaMnO_3薄膜结构、成分和电阻率的影响

摘要

用射频磁控溅射法在Si（100）衬底上沉积了钙钛矿型LaMnO3氧化物薄膜,系统研究了热处理对LaMnO3薄膜材料的相结构、组织成分、表面形貌、电阻率等的影响。结果显示,热处理温度在700℃以下,LaMnO3为非晶态,而高于1 000℃时,LaMnO3组织开始分解,出现杂相;在800~900℃时,随着热处理温度和时间的变化,LaMnO3薄膜各性能也相应变化;而热处理参数为800℃/2h时,钙钛矿型LaMnO3氧化物薄膜各性能显示最佳。