辉光合成TiN/TiB2复合渗镀层摩擦性能的研究

摘要

利用等离子尖端放电、空心阴极效应和反应气相沉积技术,在碳钢表面形成具有扩散层和沉积层的TiN渗镀层,然后在此渗镀层表面沉积(PVD法)TiB2薄膜,形成TiN/TiB2复合渗镀层.并且将其与在碳钢基体表面直接沉积(PVD法)TiB2薄膜进行表面形貌、硬度、摩擦磨损性能对比.结果表明:TiN/TiB2复合渗镀层厚度可达十几微米,成分和硬度呈梯度分布,与基体是冶金结合,结合力好,无剥落现象.表面是均匀、致密、细小的胞状组织.表面平均硬度HV2 600,平均摩擦因数小,耐磨性好.